国内在很长时间里，依旧以干式机为主。 那段时间里，国内就是个破烂王国，佳能的EX3L和5L、尼康的NSR-1010G，ASML的FPA2500，SVGL的Micrascan I，甚至GCA在78年推出的，当时来说已经老掉牙的第一代Stepper都能见到。 接触的多了，曲卓对关联的技术、结构和工艺什么的了解的很详细。 剔除掉其他工艺和流程，只说光刻机本身，作为光源的氟化氪和氟化氩准分子激光……暂时就甭惦记，离得稍微有点远。 眼下国内虽然可以自产高压汞灯，但稳定性和寿命远不达标。 450nm以上的稳定光源，曲卓有“收录”。但只能“买”出成品，没有生产工艺和设备，对应的光刻胶也一样。 至于I线和G线，好像是80年后...

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